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SIMCO離子發生器4210
很多高科技產業都依賴離子產生器來處理由靜電所引起的控制問題 - 增加良率，降低停機時間和微控鎖定，和降低操作成本。但在微環境和制程設備內，有時會限制離子產生器安裝在它們*重要的生產空間內。
在制程設備內的有限工作空間，或靠近一些敏感的部件，安裝離子產生器會有限制，型號 4210在線氣體離子產生器可電離通過的壓縮氣體來產生和輸出數量相同的正負離子，透過 Teflon? 管道連接，輸進吹入到靜電敏感區，處理靜電問題。復合管道可定制，以避免設備內的移動部件。
|
? 容易連接的復合管道 |
? 精準輸送平衡的離子到狹小的空間，*佳用在不能把靜電針曝露 |
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? 可用 CDA 或 氮氣 (Nitrogen) |
的地方 |
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? IsoStat® 磚利技術 |
? 應用廣范 |
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? 穩態直流電離 |
? 無需調較 |
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? 超高潔凈的靜電針 (型號 4210u 或 4210un) |
? 快速消散時間 |
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? 超高潔凈結購，嚴控的輸出電流和幾何結構 |
? 提供 ISO 14644-1 Class 3 潔凈度 |
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? 免維護可達兩年 |
當氣源是超高潔凈時，4210u/4210un 能提供比 ISO Class3的操作潔凈度。小心選擇的材料和控制的內部幾何結
構，確保超高潔凈的離子輸送。
4210 離子產生器可應用在不同晶圓制程上的靜電控制，如曝光機，旋干機，載入和送出機站，晶圓管理系統，和熱爐 管等
4210 有不同版本可選，可用 CDA 或 Nitrogen，可選超高潔凈的單晶硅針或高輸出的鎢針。
